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广州市黄埔区在线客服和数据管理局（广州开发区行政审批局）关于对半导体高端设备高洁净清洗线自动化技术改造环境影响评价文件拟进行审查的赔率公示

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根据半导体高端设备高洁净清洗线自动化技术改造环境影响评价文件等，按照优惠活动环境影响评价审批程序的有关规定，我局拟对该项目环境影响评价文件作出审查。为体现公开、公正的原则，强化公众参与，现将该项目环境影响评价文件基本情况予以赔率公示，赔率公示期为 2025年09月 17日至 2025年09月23日（5个工作日），如有意见，请在赔率公示期内来信或来电向我局反映。

联系地址：香雪三路3号在线客服中心4楼B区，邮编：

联系电话：32378001

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听证告知：依据《中华人民共和国行政许可法》第四十七条的规定，自赔率公示之日起五个工作日内建设单位及有关利害关系人可对我局拟作出的决定提出听证申请。

项目名称	半导体高端设备高洁净清洗线自动化技术改造
建设地点	广东广州黄埔区禾丰路86号
建设单位	广州富乐德科技发展有限公司
项目概况	项目选址在广州市黄埔区永和街道禾丰路86号进行扩建，年增加清洗修复半导体生产设备精密部件12万件，扩建后全厂年清洗修复半导体生产设备精密部件84万件、TFT生产设备精密部件143万件。
环评机构	广州经济技术开发区怡地工程有限公司
主要环境影响及预防或减轻不良环境影响的对策和措施	1.高压冲洗产生的颗粒物集中收集经现有湿式除尘器处理，达到广东省《大气污染物排放限值》（DB44/27-2001）第二时段二级标准后引至排气筒（DA001）高空排放，排气筒出口处距离地平面不低于15米。 2. 喷砂工序产生的颗粒物集中收集经现有滤筒除尘装置处理，达到广东省《大气污染物排放限值》（DB44/27-2001）第二时段二级标准后引至排气筒（DA007）高空排放，排气筒出口处距离地平面不低于15米。 3.酸洗过程产生的酸性废气（氮氧化物、氟化物、氯化氢）集中收集经三级碱液喷淋塔+三级除臭洗涤处理，达到广东省《大气污染物排放限值》（DB44/27-2001）第二时段二级标准后引至排气筒（DA014）高空排放，排气筒出口处距离地平面不低于15米。 4.碱洗过程产生的碱性废气（氨气）集中收集经"二级酸液喷淋+二级除臭洗涤"装置处理，达到《恶臭污染物排放标准》（GB14554-93）表2恶臭污染物排放标准值后引至排气筒（DA015）高空排放，排气筒出口处距离地平面不低于15米。 5.有机清洗以及溶剂回收过程产生的有机废气集中收集经现有"二级水喷淋+活性炭吸附"装置处理，TVOC、非甲烷总烃应达到广东省《固定污染源挥发性有机物综合排放标准》（DB44/2367-2022）表1挥发性有机物排放限值后引至排气筒（DA006）高空排放，排气筒出口处距离地平面不低于15米。
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