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建设地点

广东广州番禺区华南理工大学广州国际校区

建设单位

华南理工大学

项目概况

华南理工大学广州国际校区微纳电子平台改造工程拟选址于番禺区兴业大道华南理工大学广州国际校区内建设，申报建设内容为建设1个微纳电子平台进行微纳电子工艺实验、微纳电子测试、微纳电子封装工艺实验、微纳电子仿真实验，计划年实验微纳电子工艺110次、微纳电子测试300次、微纳电子封装工艺90次、微纳电子仿真400次。

环评机构

广州市番禺环境科学研究所有限公司

主要环境影响及预防或减轻不良环境影响的对策和措施

一、CVD沉积实验、PVD溅射实验、PVD电子束蒸发实验、刻蚀实验等工序均在全封闭设备内操作；CVD沉积实验（PEALD原子层沉积系统）与刻蚀实验设备（多晶硅刻蚀机、通用电感耦合等离子体反应离子刻蚀机、深反应离子刻蚀机）经1#Scrubber（电加热分解燃烧+水洗）废气处理设备预处理；CVD沉积实验（有机金属化学气相沉积系统）经2#Scrubber（电加热分解燃烧+水洗）废气处理设备预处理；刻蚀实验设备（高温电感耦合等离子体刻蚀机）经“1#酸碱中和湿式处理设备”预处理；CVD沉积实验（LPCVD介质材料生长设备）经本地处理系统（等离子体燃烧+水洗）预处理；三氯化硼气体间、氯气间经“2#酸碱中和湿式处理设备”预处理；酸洗清洗实验与碱洗实验产生的废气经通风橱收集；上述各股经预处理后的废气连同PVD溅射实验、PVD电子束蒸发实验设备产生的废气进入“碱液喷淋塔”处理后由不低于15米高排气筒排放。有机溶剂清洗和光刻实验中（显影）产生的有机废气经通风橱收集后送至楼顶经“1#二级活性炭”装置处理，由不低于15米高排气筒排放。光刻实验（涂胶）、静电纺丝和高精度3D喷印产生的有机废气经通风橱收集后送至楼顶经“2#二级活性炭”装置处理，由不低于15米高排气筒排放。离子注入机、MPECVD碳基材料沉积设备、PECVD等离子体化学气相沉积系统实验产生废气的收集后经3#Scrubber（电加热分解燃烧+水洗）废气处理设备处理，引至不低于15米高排气筒排放。真空高温退火炉、硅烷间、氨气间产生的废气收集后经4#Scrubber（电加热分解燃烧+水洗）废气处理设备处理，引至不低于15米高排气筒排放。微毒气体间、氢气间产生的废气收集后经5#Scrubber（电加热分解燃烧+水洗）废气处理设备净化处理，引至不低于15米高排气筒排放。
二、实验清洗废水、实验器皿后续清洗废水、地面清洗废水、碱液喷淋废水、水喷淋废水、Scrubber废气处理设备（电加热分解燃烧+水喷淋）水喷淋废水、本地废气处理设备（等离子体燃烧+水喷淋）水喷淋废水、碱中和湿式处理设备喷淋废水经管网收集后进入自建污水处理设施经“微电解+氯化钙沉淀+光催化+絮凝+MBR+消毒”工艺处理后；生活污水经三级化粪池预处理后连同纯水制备废水等清净下水一同排入南村净水厂做进一步处理。
三、做好设备维护，定期对设备进行检修和保养；选用低噪声仪器，加强设备日常维护与保养，通风橱、风机等高噪声设备底部安装减震垫，并且定期检查；实验室门窗部位选用隔声性能良好的铝合金结构，合理布局噪声源，分散布局较强的噪声源，将实验室与办公区分开布置；实验室高噪声设备尽量远离办公区。
四、项目生活垃圾、污水处理站污泥交由环卫部门清运处理；废金属靶、废蒸发材料、不沾染化学品的废包装材料及碎玻璃、纯水制备系统产生的废活性炭和废RO膜交由物资回收单位回收处理；废酸液、废碱液、废有机液、废光刻胶、废显影液、废无尘布、刻蚀冲洗废水、研磨抛光有机废水、废芯片、废气处理设施产生的废活性炭、沾染化学试剂废包装材料、废UV灯管、含油废抹布及手套，均属于《国家危险废物名录》（2025版）中的危险废物，分类收集后交由有危废资质的单位回收处理。

公众参与情况